您的位置:首页 > 信息中心 > 大族激光:接近式光刻机已投入市场,步进式光刻机已启动用户优化 来源:南方财经网 • 2023-02-06 14:32:50 (相关资料图)南方财经2月6日电,大族激光在互动平台表示,目前公司光刻机项目主要应用在分立器件领域,分辨率3-5μm;其中,接近式光刻机已投入市场,步进式光刻机已启动用户优化,公司将根据市场需求及业务发展情况持续制定研发计划,并加大研发核心部件国产化。 (文章来源:南方财经网) 关键词: 大族激光